随着近年全球范围的经济衰退和产业链重塑影响，制造业的亮点和焦点集中在新能源、半导体、电子通讯少数几个领域，以光刻机为代表的关键设备国产化也成为国家战略高度的课题。但具体到不同细分领域，问题复杂程度超乎想象，只有步步为营，才能由点及面地解决系统性难题。本文主要介绍的是用于多层陶瓷片膜（如MLCC）、固体氧化物燃料电池（SOFC）、多层共烧陶瓷基板（LTCC、HTCC）等的关键设备及其研发商——武汉坤元流延科技有限公司（武汉坤元）。

类似很多高端进口设备，KEKO、日本横山等进品牌的流延成型设备曾一度非常昂贵，动辄几百上千万，这同样是制约我国众多依赖流延工艺生产的行业发展。在此背景下，武汉坤元成立伊始就进行考察调研和系统实践的验证，最终研发了出了以陶瓷流延机、温等静压机、温水均压机为主的陶瓷流延成型工艺的成套设备。经过不断积累发展，武汉坤元如今已是电子、物理、环保、新能源材料等领域的新材料片膜流延成型工艺的领先专业设备供应商，可提供包括陶瓷流延机、真空脱泡机、辊筒球磨机、裁切机、温等静压机、真空叠层机、涂覆机、双面涂层流延机等各类湿法成型成套设备。

一、明星设备

1、温等静压机——高密度、高精度多层陶瓷生坯和薄膜的关键成型设备。

技术参数：

【1】工作压力：25MPa、40MPa、60MPa、100MPa(可选)；

【2】工作介质：自来水/去离子水；

【3】使用温度：最高80℃(可调)。

性能特点：

【1】操作系统：10寸彩色液晶触摸屏、电气控制系统为西门子PLC可编程序控制；

【2】增压及加热系统：利用气体驱动增压泵，程序控制压力大小，从而有效地实现控制。采用电加热，加热加压具有同时工作的功能；

【3】全自动化多段控制系统：可以全自动化多段程序预热，增压，恒压，降压；

【4】温度控制系统：多层生坯在等静压的过程中，需要一定的温度。并且可以对于不同的工艺参数进行不同温度的设定。加热加压具有同时工作的功能；

【5】水位检测系统：当主压力腔体中的水位不足时，设备水位自动报警；

【6】具有过热断电保护功能，空烧或者水位不足及过热时，设备自动断电保护。

2、陶瓷流延机（大型、中型、实验型）——精确控制能够确保生产出高质量、均匀厚度的薄膜基板，可用于SOFC、LTCC、HTCC、MLCC片、功能薄膜材料、压电陶瓷、陶瓷基板、片状陶瓷元件、柔性磁性薄膜、传感器、固体氧化物燃料电池的研发、生产。

大型流延机

技术参数：

【1】流延宽度：240-1000mm之间合适；

【2】速度：0.015-5.0（M/min）；

【3】狭缝高度：5～4500μm；

【4】调刀精度：0.001mm；

【5】机械厚度精度：±(1um+2%厚度)；

【6】底板控制温度：室温～100℃（可调）；

【7】进风最高温度100℃，每段可独立调节（可以根据工艺另配高温模块）；

【8】自动供料系统：液位高度0-40.0mm；

【9】膜带缠绕带有张力控制功能；

【10】适用浆料溶剂：水性，有机溶剂。

性能特点：

生产效率高、设备精度高、操作简便、维护方便。

3、真空叠层压机——应用于多层片膜制造过程中用半固化片或烘干后的片状材料。在温度和压力作用下，将片膜在真空、加温、高压下粘合起来。

技术参数：

【1】平台尺寸：210*210mm（可定制）；

【2】加热平台温控范围：室温-120℃；

【3】加热模块均匀性：±2℃；

【4】腔体真空度：最高-0.065MPa；

【5】压力范围：6-40吨（可定制）。

性能特点：

模块式加热系统，温度均匀性高；工作室真空状态有液晶显示屏显示，直观可靠；高压环境采用液压压力单元，压力控制精准。

二、核心技术

武汉坤元的设备相关的专利布局全面覆盖：流延烘道类，流延刮刀类，双面涂覆，真空叠层，新型温等静压密封，新型温等静压的缸体结构等，并且通过不断实验，保证其稳定性及可靠性然后应用于设备上。

三、典型案例

新能源方面：惠州亿纬锂能有限公司（惠州市亿纬新能源研究院）、汉福赛尔新能源科技有限公司；

氮化硅基板基板方面：中材高新氮化物陶瓷有限公司；

LTCC和大规格MLCC方面：成都容瓷电子科技有限公司、研创光电科技（赣州）有限公司等。

小结

目前全球经济和国际关系等并不乐观，但武汉坤元看来也是企业发展的契机，尽可能早和尽可能多的实现关键设备进口替代，在精度和稳定性上追赶和实现超越，为国内半导体、电子通讯和新能源产业发展助力，为健全稳固的产业生态助力。

欢迎各位届时莅临CAC 2024广州国际先进陶瓷产业链展览会（同期展会：粉体装备展、粉末冶金及3D打印展），武汉坤元流延科技有限公司——展位号：B534，现场了解更多相关信息。

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