由粉体圈主办的“CAC2026全国先进陶瓷论坛暨半导体用陶瓷专题论坛”将于6月25-26日在陕西·西安举行。本届论坛将以技术交流与产业协同为核心，聚焦先进陶瓷领域的前沿技术、创新产品、关键装备、核心原材料与新兴应用方向，为半导体等产业链上下游企业、科研院所及终端用户搭建高效务实的交流合作平台。

论坛吸引了行业内众多知名企业参与。山西中电科电子装备有限公司作为半导体领域高端装备的创新型实力企业，将以支持单位的身份重磅参与，诚邀各位企业代表莅临交流！

产品推介PART 01

1、立式高温纯化炉

●用途：主要用于石墨、碳毡、石墨粉体等碳基材料的纯化；

●特点：采用电阻式加热，通过红外测温仪、温度控制模块实现2400度高温加热，配合纯化工艺可实现碳基材料的高纯度处理，设备纯化效果好、自动化成都高、性能可靠稳定。

 

2、立式/卧式SiC化学气相沉积炉

●用途：用于石墨/陶瓷表面SiC化学气相沉积；

●特点：采用电阻式加热，通过温度控制模块实现高温加热，配合沉积工艺实现载体表面的SiC沉积，设备沉积效果好，自动化程度高，性能可靠稳定。

 

3、TaC化学气相沉积炉

●用途：用于石墨表面TaC化学气相沉积；

●特点：采用电阻式加热，通过温度控制模块实现高温加热，配合沉积工艺实现载体表面的TaC沉积，设备沉积效果好，自动化程度高，性能可靠稳定。

 

4、热解石墨化学气相沉积炉

●用途：用于石墨表面热解石墨化学气相沉积；

●特点：采用电阻式加热，通过温度控制模块实现高温加热，配合沉积工艺实现载体表面的热解石墨沉积，设备沉积效果好，自动化程度高，性能可靠稳定。

 

5、立式高温真空热压烧结炉

●用途：用于各类陶瓷材料、复合材料、铜铁基粉体材料、石墨粉、碳化硅粉等的热压烧结成型；

●特点：采用感应加热，通过温度控制模块实现高温加热，配合热压烧结工艺实现产品的热压烧结成型，自动化程度高，性能可靠稳定。

 

6、卧式高温真空烧结炉

●用途：用于各类陶瓷材料、碳化硅、氮化硅等的烧结；

●特点：采用电阻加热，通过温度控制模块实现高温加热，配合烧结工艺实现产品的烧结，自动化程度高，性能可靠稳定。

 

企业简介PART 02

山西中电科电子装备有限公司（以下简称“山西中电科”）隶属于中国电子科技集团有限公司旗下中电科电子装备集团有限公司。山西中电科致力于碳基材料纯化装备、SiC/TaC/PG化学气相沉积装备、半导体产业相关配套装备研发制造及产业化验证，建立关键核心装备研发中心和生产基地及相关制造工艺技术产业化验证平台，研制装备主要应用于半导体、锂电、航空航天、消费电子领域，尤其解决第三代半导体装备国产化替代。山西中电科联系电话：0351-7771789。