展商快讯 |中硅(山东)硅铝新材料有限公司确定参展CAC2023广州先进陶展,展位号:B402
中硅(山东)硅铝新材料有限公司经过多年的科研攻关,已经攻克气相法(CVD工艺)批量生产高纯超细碳化硅粉的技术障碍,生产出的碳化硅微粉,属3C相β型,纯度达到3N-5N;颗粒均匀,粒径主要分布在450-750nm,形态呈球状;硅碳摩尔比近似1:1;因其在高浓度的氩气和氢气环境下生成,颗粒内部无氧。这种粉料是生产高端碳化硅器件的原料,器件在半导体制造工艺装备中都有广泛应用,如:研磨抛光吸盘、光刻吸盘、检测吸盘、精密运动平台、蚀刻环节的高纯碳化硅部件、封装检测环节中精密运动系统等,其次,光伏硅生产用的碳化硅桨也
2023-03-09